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◆纯水清洗:RO反渗透水循环系统,电导率稳定≤1μS/cm
◆超声波去污:40kHz高频清洗深度去除亚微米级颗粒
◆气流速干:0.3秒瞬间干燥,含水率≤1.5%,避免二次污染风险
◆微粒监测:在线激光粒子计数器实时反馈清洗洁净度(粒径≥0.5μm)
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