◆纯水清洗：RO反渗透水循环系统，电导率稳定≤1μS/cm

◆超声波去污：40kHz高频清洗深度去除亚微米级颗粒

◆气流速干：0.3秒瞬间干燥，含水率≤1.5%，避免二次污染风险

◆微粒监测：在线激光粒子计数器实时反馈清洗洁净度(粒径≥0.5μm)